摘自User's Manual第10.3.1.4節(jié) h2uO+qEsu
在指定的視場和色差上的波前擴(kuò)展的單獨項可以用如下像差來控制 QE-t v00
{ A / S / MUL / DIV } ICOL COE HBAR GBAR nb SznNvd <
{ A / S / MUL / DIV } ICOL ZCOE HBAR GBAR nb ;k!Ej-(
其中nb為期望的系數(shù)。COE是COE特性的冪級數(shù)展開項,而ZCOE是Zernike項。因此,要在色差2的全視場上使第3個Zernike系數(shù)的值為5.4,在AANT文件中需要輸入 N"HN]Y@w
M 5.4 1 A 2 ZCOE 1 0 3 V3F2Z_VH2
注意,這種像差的結(jié)果可能在某種程度上不同于ZCOE的輸出。這是因為,為了盡可能快地執(zhí)行,像差計算忽略了漸暈(和在AANT文件中所有光線一樣)。如果漸暈是一個問題,可以移除有問題的孔徑或者切換到WAP 3(這非常慢)。 uQpV1o5iA