我國光電子芯片，已在豫北小城鶴壁獲得突破。其中的PLC光分路器芯片早在2012年就實現(xiàn)國產(chǎn)化，迫使國外芯片在中國市場的價格從每晶圓最高時2400多美元降到100多美元。目前已占全球市場50%以上份額。 fiTMS:  
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更了不起的是，他們研發(fā)的陣列波導(dǎo)光柵(AWG)芯片，在骨干網(wǎng)、高速數(shù)據(jù)中心及5G基站前傳等領(lǐng)域獲重大突破，其中，骨干網(wǎng)AWG進入相關(guān)領(lǐng)域知名國際設(shè)備商供應(yīng)鏈，高速數(shù)據(jù)中心及5G應(yīng)用技術(shù)有望在國際競爭中領(lǐng)跑。近日，他們已在5G前傳循環(huán)型波分復(fù)用、解復(fù)用芯片核心技術(shù)方面，開始實驗驗證工作。 c1/Gyq  
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攻克光電子芯片三大壁壘 :o$ R@l  
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5月17日，記者前往鶴壁采訪。在仕佳光子展廳里，吳遠(yuǎn)大介紹，在目前世界上100多類高端光電子芯片中，國內(nèi)有兩大類全系列化芯片技術(shù)基本實現(xiàn)國產(chǎn)化。一類是主要應(yīng)用于光纖到戶接入網(wǎng)中的PLC光分路器芯片，另一類是主要應(yīng)用于骨干網(wǎng)、城域網(wǎng)、高速數(shù)據(jù)中心和5G領(lǐng)域的陣列波導(dǎo)光柵芯片�！斑@兩類芯片，都是我們公司研發(fā)的�！眳沁h(yuǎn)大說。 S6H=(l58  
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今年45歲的吳遠(yuǎn)大，是中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所研究員，主要致力于高性能無源光電子材料與器件的應(yīng)用基礎(chǔ)研究，同步開展PLC光分路器芯片及陣列波導(dǎo)光柵芯片的產(chǎn)業(yè)化技術(shù)開發(fā)工作。2011年，作為我國光電子事業(yè)主要開拓者王啟明院士團隊的一員，他與所里的6個年輕人一起，來到鶴壁擔(dān)任河南仕佳光子科技股份有限公司常務(wù)副總裁，開展院企合作，開啟我國高端光電子芯片的產(chǎn)業(yè)化之路。 $XFG1?L!  
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吳遠(yuǎn)大說，在國家863計劃、973計劃項目資助下，中科院半導(dǎo)體所對這些芯片已經(jīng)開展了十多年的基礎(chǔ)研究，但由于三方面原因，此前一直沒有產(chǎn)業(yè)化。 X.s?=6}g  
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一是高質(zhì)量的高折射率差硅基SiOx集成光波導(dǎo)材料基礎(chǔ)薄弱。微電子技術(shù)中二氧化硅薄膜材料的厚度，一般僅為幾百納米；而平面集成光波導(dǎo)芯片中，則要求二氧化硅膜的厚度高達幾個微米，甚至幾十個微米，要求無龜裂、無缺陷，且更偏重二氧化硅材料的光傳輸性質(zhì)。國外生長硅基SiOx集成光波導(dǎo)材料的方式主要有兩種：以歐美為代表的化學(xué)氣相沉積法(PECVD)，以日本、韓國為代表的火焰水解法(FHD)。PECVD法精度較高，操控性好；FHD法生長速率快，產(chǎn)業(yè)化效率更高，二者各有優(yōu)缺點。而國內(nèi)缺乏相關(guān)應(yīng)用基礎(chǔ)研究。 &F\J%#{  
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