今天的案例主要是用于模擬抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)建模與分析，分析具有亞波長范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)對于波長和角度依賴性的關系，主要采用傅里葉模態(tài)法進行光柵設計，首先通過參數(shù)掃描得到初始解，其次通過參數(shù)優(yōu)化對初始解的光柵結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化，最后分析優(yōu)化結(jié)果。