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    [求助]Au工藝問題 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-05-23
    各位大神，請教一個關(guān)于鍍Au的問題，用3M膠帶拉扯掉膜，請問有大神們什么好的改善方法嗎？謝謝 8Nyz{T[  
    制程：AL2O3+Au+AL2O3-(加熱340度烘烤70分鐘）+TI3O5+SIO2 0=6mb]VUi=  
    Y,Z$U| U  
     
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    離線sgh920
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2019-05-23
    用鉻打底，保護用氧化鉿試試
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2019-06-23
    按1樓說的額試下。打底的材料換CR
    離線holdlove1314
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2019-06-23
    保護的溫度太高啦 產(chǎn)生膜的致密性不好
    離線viavi1109
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2019-08-23
    Cr打底試試，Cr+Ni+Au