波前差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計算方差、
標(biāo)準偏差、X和Y中的圖像點。后兩個量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多
波長的，從所請求的色差或主波長色差的主要
光線點測量。這是對
衍射圖樣的峰值位置的一個有用的近似，只要OPD誤差小于一個波長。對于畸變非常重要的
透鏡，比如顯微光刻
物鏡，我們希望控制這個位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個更常見的目標(biāo)。本節(jié)描述的
像差允許我們這樣做。格式是:
d+^;kse M TAR WTA { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
UJZa1p@L M TAR WTA { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
O<K r6+
- M TAR WTA { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
HDaec`j M TAR WTA { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS
BoXCc"q[ M TAR WTA { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS
Z(.Tl M2h M TAR WTA { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS
Qknd
