摘 要
6)i4& %5#ts/f 斐索
干涉儀是工業(yè)中常見(jiàn)的
光學(xué)計(jì)量
設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高
精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索
干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。
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y2km] f]Jn\7j4 建模任務(wù)
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2P3,\L 傾斜平面下的觀測(cè)條紋
L?_'OwaY O@*^2, 6 v_M-:e3` }LK +w+h~ 圓柱面下的觀測(cè)條紋
T1,Nb>gBq^ En01LrC? h9<*+T SU>2MT^ 球面下的觀測(cè)條紋
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