摘 要
$|8!BOx8t (+0v<uR^D 斐索
干涉儀是工業(yè)中常見的
光學(xué)計量
設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高
精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個菲索
干涉儀,并利用它測試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。
EFz&N\2 B_.%i+ZZ ~@}Bi@* 建模任務(wù)
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u?C#4 E>K!Vrh-L 傾斜平面下的觀測條紋
4r45i: q<M2,YrbAI
7Op>i,HZk\ s7F.sg 圓柱面下的觀測條紋
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Hl,W=2N W)bLSL]`E 球面下的觀測條紋
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qi^7 j:v@pzTD VirtualLab Fusion 視窗
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