synopsys光學(xué)設(shè)計(jì)軟件中的鬼像控制 ML]?`qv '  
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鬼像是由一個(gè)或多個(gè)折射面反射引起的。SYNOPSYS可以評(píng)估和控制兩種類型的鬼像：GHOST程序可以確定在像面上哪個(gè)表面組合對(duì)鬼像負(fù)責(zé)，BGI可以評(píng)價(jià)在透鏡系統(tǒng)內(nèi)的另一個(gè)位置處形成的鬼像的特性。 K0v,d~+]  
為了從選擇的近軸鬼像控制圖像的彌散斑的大小，輸入 2sTyuH
.  
M TAR WTA PGHOST JREFH JREFL {
u1t.+  
M TAR WTA PUGHOST JREFH JREFL ,=ICSS~9l  
第一個(gè)是PGHOST，用于控制物空間中一個(gè)點(diǎn)的近軸鬼像的彌散斑大小。這是通常的鬼像情況，其中在視場的一部分中的亮物體在另一部分中形成鬼像。第二個(gè)是PUGHOST，用于控制入瞳上的點(diǎn)的鬼像的大小。 &O[o;(}mFI  
假設(shè)由表面15和表面9的反射產(chǎn)生的鬼像在像平面處清晰地聚焦。鬼像越小越清晰，可以通過增加彌散斑的大小來降低它的強(qiáng)度。假設(shè)想讓鬼像的彌散斑半徑不小于5 mm。以下是如何在AANT文件輸入中將其定位為這個(gè)值: +g;G*EP
7*  
M 5 1 A PGHOST15 9 -cW5v  
由于較大的鬼像不是缺陷，因此提供單側(cè)像差常常較好: WV6vM()#!C  
LL 5 .1 4 1 ^1g6(k'  
A PGHOST 15 9 w9oiu$7),  
在這里，如果鬼像半徑為5.0，缺陷值為0.1；如果半徑為4.0，缺陷值為1.0。注意，像差的返回值總是正的，因此目標(biāo)值也應(yīng)該是正的。 $M8'm1R9  
如果使用此特性進(jìn)行優(yōu)化，請(qǐng)不要打開開關(guān)47。該選項(xiàng)用于對(duì)單個(gè)鬼像進(jìn)行詳細(xì)分析，如果該開關(guān)設(shè)置用于優(yōu)化，則會(huì)產(chǎn)生大量不必要的顯示輸出。 `rcjZ^n  
與GHOST命令類似，如果開關(guān)49打開（但不用于PUGHOST），該特性將通過所估計(jì)的衍射斑半徑增大所計(jì)算的近軸鬼像半徑。 oT_,k}L