synopsys中,可以通過(guò)命令來(lái)直接控制三階和五階
像差 peu9Bgs 直接通過(guò)一條命令語(yǔ)句,自由設(shè)置權(quán)重,可以根據(jù)需要來(lái)控制
系統(tǒng)的像差,但是要記。涸诳刂葡到y(tǒng)的像差,不是越小越好,而是是使各個(gè)像差趨于平衡。
f~wON>$K =S{OzF 最終表面的三、五階像差值可定義為待控制的像差。輸入是
OC*28) "\EX)u9ze { A / S / MUL / DIV } name
J@:Q( pk9Ics;y 其中name是如下之一 :
Q&.uL}R g>h/|bw4 SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC
+ZNOvcsV ]O@iT= *3 SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA
JD#q6&| 0#OyT'~V% SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP