synopsys中,可以通過(guò)命令來(lái)直接控制三階和五階像差 IX(yajc[~M
直接通過(guò)一條命令語(yǔ)句,自由設(shè)置權(quán)重,可以根據(jù)需要來(lái)控制系統(tǒng)的像差,但是要記住:在控制系統(tǒng)的像差,不是越小越好,而是是使各個(gè)像差趨于平衡。 </Id';|v
g?VME]:
最終表面的三、五階像差值可定義為待控制的像差。輸入是 NQJqS?^W&M
gh}AD1TN]
{ A / S / MUL / DIV } name u
s0'7|{q
5:d2q<x:{
其中name是如下之一 : acZHb[w
a7|&Tbv
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC v6VhXV6$|
9O Q4\
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA >FHsZKJ
@e,Zmx
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP $ddYH
2P
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另一組像差有助于降低透鏡對(duì)制造誤差的靈敏度。這些是 w3N%J>4_E
Ltw7b
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。