摘要：紫外激光以其波長短、加工精度高、冷加工等特性，在微細制造中具有獨特優(yōu)勢，能夠有效提高制造品質。近年來，隨著現(xiàn)代電子產業(yè)的快速發(fā)展，其對生產制造的要求不斷提高，紫外激光的應用和發(fā)展也受到人們的廣泛關注。紫外激光在微加工過程中對材料尺寸形狀要求小，加工過程靈活可變，產生的熱影響區(qū)小，能夠實現(xiàn)精密復雜結構的加工。本文介紹了紫外激光器的發(fā)展過程，并對目前主要用于微加工的兩類紫外激光器：準分子激光器和全固態(tài)激光器的工作原理和技術特點進行了簡要的概述。重點討論紫外激光在半導體、光學元件和聚合物等領域的技術發(fā)展和應用現(xiàn)狀，并進一步對未來研究方向進行預測和展望。 8Pnqmjjj
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關鍵詞：紫外激光器；激光微加工；半導體材料；微光學元件；聚合物
