RT求助一份光馳離子源學(xué)習(xí)資料，更全面的了解和學(xué)習(xí)其工作原理以及設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)

離子源機(jī)械結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單，難點(diǎn)在于控制（氣體，電壓，電流，RF匹配）和柵網(wǎng)的加工精度。

ouyuu:離子源機(jī)械結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單，難點(diǎn)在于控制（氣體，電壓，電流，RF匹配）和柵網(wǎng)的加工精度。 (2019-06-24 13:50)  6 f*:;  

OxHcoNrz  
您好，首先謝謝你的回復(fù)。您說(shuō)的這些點(diǎn)難控制其根本參照標(biāo)準(zhǔn)是否在于薄膜吸收大小問(wèn)題。

這些難點(diǎn)會(huì)影響離子源穩(wěn)定性。 2Q