膜層越厚白渾現(xiàn)象越嚴(yán)重，是不是吸收引起的，該如何解決呢？

同問，幫頂一下

可能是離子源強(qiáng)度不夠或者鍍膜速率太快。

鍍膜溫度多考慮一下，一般溫度太高速率偏低都會出現(xiàn)這個(gè)現(xiàn)象，同時(shí)需要檢測濁度這一指標(biāo)，如果濁度也比較高，那么你的離子源能量與充的氣體不匹配了。

首先，你說的膜層越厚指的是單層鍍厚就有還是多層才有，其次鍍膜用的是什么材料。

以氧化鈦為例，當(dāng)給定的參數(shù)（沉積速率太快，溫度太高，離子源工藝不對）不夠好時(shí)，薄膜生長結(jié)構(gòu)會出現(xiàn)結(jié)晶狀態(tài)，會產(chǎn)生薄膜散射，也就是強(qiáng)光下可以看到薄膜發(fā)霧的現(xiàn)象。充氧不足也會導(dǎo)致吸收，但是不會發(fā)霧，吸收和散射本身是不一樣的。鍍厚之后，因?yàn)閼?yīng)力等問題，發(fā)霧現(xiàn)象會更加明顯。最后表現(xiàn)出來可能就會有白渾的現(xiàn)象。 LN}eD\  
解決這種問題，首先要把單層時(shí)不發(fā)霧的工藝找好，其次多層時(shí)考慮應(yīng)力的問題。

個(gè)人經(jīng)驗(yàn)覺得5樓說得有道理，散射是白霧現(xiàn)象的最大可能原因，還是以先做好材料的單層膜，穩(wěn)定好膜料的工藝再做復(fù)雜膜系更加合適。

學(xué)習(xí)了，很實(shí)用。

很詳細(xì)的說明，漲知識了

以氧化鈦為例，當(dāng)給定的參數(shù)（沉積速率太快，溫度太高，離子源工藝不對）不夠好時(shí)，薄膜生長結(jié)構(gòu)會出現(xiàn)結(jié)晶狀態(tài)，會產(chǎn)生薄膜散射，也就是強(qiáng)光下可以看到薄膜發(fā)霧的現(xiàn)象。充氧不足也會導(dǎo)致吸收，但是不會發(fā)霧，吸收和散射本身是不一樣的。鍍厚之后，因?yàn)閼?yīng)力等問題，發(fā)霧現(xiàn)象會更加明顯。最后表現(xiàn)出來可能就會有白渾的現(xiàn)象。 x\taG.'zX  
解決這種問題，首先要把單層時(shí)不發(fā)霧的工藝找好，其次多層時(shí)考慮應(yīng)力的問題。