SYNOPSYS光學(xué)軟件之探索
作者:夏天
mZUfn%QXb( 冥冥之中的相遇皆是緣分。向來緣淺,奈何情深,是對SYNOPSYS最好的詮釋。其實(shí)第一次聽說SYNOPSYS并不是在武漢墨光,也不是在
ZEMAX中文論壇,而是在去年的秋天,一位國外友人看到一篇關(guān)于SYNOPSYS光學(xué)軟件的文章,講述的是采用平板
透鏡作為初始結(jié)構(gòu),使用SYNOPSYS軟體設(shè)計(jì)光刻
鏡頭只需要幾十分鐘,后發(fā)出令人驚訝的感嘆!鏡頭的復(fù)雜程度如下圖Fig1所示。這也是SYNOPSYS給我的第一次印象:快!讓我記憶猶新。后來,身邊同僚也經(jīng)常提到SYNOPSYS。隨后,朋友圈各大論壇也相繼出現(xiàn)SYNOPSY的介紹和資訊。慢慢地,有關(guān)SYNOPSYS的
資料逐漸多了起來,于是我就開始了SYNOPSYS探索之路。參加深圳由SYNOPSYS軟件開發(fā)者Donald C.Dilworth先生主講的《
光學(xué)設(shè)計(jì)與自動(dòng)
優(yōu)化》交流會(huì),使我受益匪淺,終生難忘。讓我們一起走進(jìn)SYNOPSYS的世界吧,Ready,GO。
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n k2om$nN Fig 1 平板優(yōu)化后的光刻鏡頭
CX m+)a-L SYNOPSYS的操作界面極其干凈整潔,給人一種簡約美,但是功能五臟六全,應(yīng)有盡有。以一個(gè)優(yōu)化好的三片望遠(yuǎn)結(jié)構(gòu)來了解下SYNOPSYS的像差分析功能。將透鏡數(shù)據(jù)輸入到MACros運(yùn)行得到外形結(jié)構(gòu)圖Fig2,和SketchPAD圖Fig3,與ZEMAX 2D Layout圖Fig4 一致,說明所有的
參數(shù)輸入是正確的。
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PpsIhMq@ qn,O40/] Fig2 SYNOPSYS 外形圖
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(os$B Fig3.GIF SYNOPSYS 動(dòng)態(tài)素描圖
Q%-di= {%#)5l) Fig4 ZEMAX 2D Layout圖
CZbYAxNl 首先我們通過MODULATION TRANSFER FUNCTION 傳遞函數(shù)曲線圖Fig5可知該
光學(xué)系統(tǒng)在150線對處的MTF值約為0.4左右,整體曲線接近衍射極限。從THROUGH FOCUS MTF 圖Fig6 看曲線不僅有高度同時(shí)也有寬度,具備較好的焦深,使得圖像傳感器CMOS在一定范圍內(nèi)仍然能夠清晰成像,增強(qiáng)了使用空間。圖Fig7是該系統(tǒng)的多視場點(diǎn)列圖,各視場的彌散斑半徑小,并且相對均衡,整體一致性好。
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!u]1dxa RV&^g*;E Fig5 MTF曲線圖
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)3h^Y=43 Fig6 THTOUGH FOCUS 圖
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al20V _uJ"m8Tl Fig7 多視場點(diǎn)列圖
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