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芯片失效分析常用方式

發(fā)布：探針臺(tái) 2019-08-13 11:21 閱讀：2768

芯片失效分析常用方式FIB X光probe；RIE；EMMI；decap；IV
1.OM 顯微鏡觀測(cè)，外觀分析
2.C-SAM（超聲波掃描顯微鏡）