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VirtualLab傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析
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樓主
發(fā)表于: 2019-08-23
關(guān)鍵詞:
光柵
VirtualLab
摘要
LQ(yScA@
}4Tc
對于如背光、
光學
連接器和近眼顯示等許多應用來說,光如何高效地耦合到波導
結(jié)構(gòu)
中是一個重要問題。對于這些應用,眾所周知傾斜
光柵
可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴格的傅立葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進行
優(yōu)化
。對于預定義方向的級次,優(yōu)化得到的光柵的
衍射
效率超過90%。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
oFy=-p+C
}Mf!-g
圖片:1-1ZR3110153312.png
^* J2'X38I
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