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電性能檢測Probe測試

發(fā)布:探針臺 2019-09-17 14:12 閱讀:1471
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Probe測試 .32]$vx  
顯微鏡底下,利用探針搭接于IC內(nèi)部線路,使其可以外接各類設(shè)備,以便量測或輸入訊號?萍寄壳皳碛械奶结樑c應(yīng)用相關(guān)訊息如下: =<nx [J  
探針分為硬針、軟針及Active Probe。硬針之針尖主要規(guī)格為1 μm及5 μm;軟針之針尖為 < 1 μm,主要應(yīng)用在高頻電路及FIB probing PAD及Active Probe(200 MHz)。 *z-Mr~ V  
當(dāng)分析樣品需使用如EMMI / OBIRCH / TLP / ESD / Curve tracer等儀器卻無無適當(dāng)治具或socket可用時,可由點針方式提供訊號輸入輸出。 Y_qRW. k  
Wafer可搭配Probe card做各項測試。 E3X6-J|  
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