摘要：精密測量是精密機械加工的基礎，是制造行業(yè)中影響制造精度的決定性因素之一，在當代精密機械制造領域應用廣泛�；�光柵的精密位移測量系統(tǒng)以其對環(huán)境要求小，測量分辨率高等優(yōu)點，在精密位移測量領域占據重要位置�；诠鈻诺木芪灰茰y量系統(tǒng)包括光學測量系統(tǒng)、信號接收、電子學細分及整體裝調幾部分。本文主要針對光學測量光路部分進行綜述介紹。首先介紹了經典光柵干涉位移測量原理；其次，綜述了基于光柵的精密位移測量系統(tǒng)的關鍵技術現(xiàn)狀；再次，對比分析了幾種最具有代表性的測量技術，總結其優(yōu)缺點；最后，對基于光柵的精密位移測量技術進行展望，揭示其高精度、高分辨力、高魯棒性、微型化、多維化、多技術融合的發(fā)展趨勢。 a$Ud"
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關 鍵 詞：位移測量；光柵；高精度測量；衍射干涉
