掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地應用于化學、生物、醫(yī)學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業(yè)部門。如圖1所示，是掃描電子顯微鏡的外觀圖。 f-U zFlU  
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特點 $<*) 5|6  
制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等，對于導電材料，可直接放入樣品室進行分析，對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。 VZ]iep  
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基本結構 HZrA}|:h  
從結構上看，如圖2所示，掃描電鏡主要由七大系統組成，即電子光學系統、信號探測處理和顯示系統、圖像記錄系統、樣品室、真空系統、冷卻循環(huán)水系統、電源供給系統。 4KPnV+h"b  
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圖2：掃描電子顯微鏡結構圖（圖片來源：西南石油大學能源材料實驗教學中心） A;cA|`b  
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其中最重要的三個系統是電子光學系統、信號探測處理和顯示系統以及真空系統。 &X4anH>O  
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1、電子光學系統 #.8v[TkKq  
電子光學系統包括電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室等，主要用于產生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。 IIk_!VzT  
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電子槍：用于產生電子，主要分類如下： hs6pp/h>  
種類 |# 0'_