摘要 Q!-"5PX  
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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 N>L)2WKFT  
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圖片:1-191014101922T4.png

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建模任務(wù) 6U|"d[  
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圖片:1-191014101951344.png

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入射平面波 5't
9/8i  
波長 2.08 nm 9nO&d(r g  
光斑直徑： 3mm wuCZz{c7  
沿x方向線偏振 !f!YMpN  
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如何進(jìn)行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ ~tNk\Kkv  
如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？  5B1,,8P  
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概覽 [D?xd/G  
•樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 C_[
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•接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 C2iOF