摘要 Sw5:
T  
$Sa7N%D  
高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 pS}IU{#;  
"S*@._   

圖片:1-191014101922T4.png

OK YbEn#  
leI ]zDk=  
建模任務(wù) oe0YxSauL  
]@#wR  

圖片:1-191014101951344.png

,np|KoG|M  
yPs6_Qo!p  
入射平面波 y` '#gH  
波長 2.08 nm Q1rEUbvCE  
光斑直徑： 3mm iHK.hs;  
沿x方向線偏振 -Dy
<B  
_`p^B%[  
如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析？ p .P#S  
如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？
} #