摘要:針對目前已有的光學檢測設備無法實現大口徑大曲率半徑光學元件高精度檢測的問題,提出利用長程輪廓儀( LTP)來進行大口徑大曲率半徑(正、負)光學元件的精確測量,并通過實驗證明了LTP檢測大曲率半徑光學元件的優(yōu) 勢。分析計算LTP測量曲率半徑的算法精度,設計了合理的機械結構進行旋轉測量,得到了全口徑的曲率半徑分布。 最后與球徑儀、刀口儀的測量結果進行了對比。對R=37.108m和R=41.065m的球面鏡測量結果顯示, LTP的測量 重復性在0.05%以內,與球徑儀、刀口儀的測量值相差均在0.05%以內。研究結果表明,LTP可以用來解決目前幾十米 的大R曲率半徑光學元件難以高精度測量的難題。 jb{9W7;RL
*N:0L,8
關鍵詞:長程輪廓儀;曲率半徑測量;算法精度;旋轉測量