集成電路發(fā)展歷史 9BAvE\o0  
　1947年：貝爾實(shí)驗(yàn)室肖克萊等人發(fā)明了晶體管，這是微電子技術(shù)發(fā)展中第一個(gè)里程碑； 
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　1950年：結(jié)型晶體管誕生； inh J|pe"  
　1950年： R Ohl和肖特萊發(fā)明了離子注入工藝； ;GIA`=a%  
　1951年：場(chǎng)效應(yīng)晶體管發(fā)明； OY8P  
　1956年：C S Fuller發(fā)明了擴(kuò)散工藝； U7Oa 13Qz  
　1958年：仙童公司Robert Noyce與德儀公司基爾比間隔數(shù)月分別發(fā)明了集成電路，開創(chuàng)了世界微電子學(xué)的歷史；  ?tA%A  
　1960年：H H Loor和E Castellani發(fā)明了光刻工藝； dz!m8D0  
　1962年：美國(guó)RCA公司研制出MOS場(chǎng)效應(yīng)晶體管； xpc{#/Nk  
　1963年：F.M.Wanlass和C.T.Sah首次提出CMOS技術(shù)，今天，95%以上的集成電路芯片都是基于CMOS工藝； $