摘要
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? L/shF}< 對(duì)于許多應(yīng)用來(lái)說(shuō)（例如背光、
光學(xué)連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)
結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問(wèn)題。對(duì)于這些應(yīng)用，傾斜
光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊舛皇熘�。在此示例中，介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行
優(yōu)化。對(duì)于給定的方向級(jí)次，優(yōu)化的光柵展示出超過(guò)90％的
衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
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參數(shù)優(yōu)化
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6SpkeXL >q}EZC 結(jié)果-容差分析
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Wqmx VirtualLab Fusion一瞥
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K@h v[4 upWq=_ VirtualLab Fusion中的工作流程
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使用特殊材料的光柵結(jié)構(gòu)設(shè)定[用例]
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傾斜光柵高級(jí)設(shè)定[用例]
e-Eo e_k •光柵衍射效率分析
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光柵階序分析器[用例]
D:f0W v •使用參數(shù)優(yōu)化進(jìn)行光柵參數(shù)優(yōu)化
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