高NA(數值孔徑)物鏡常用于光學顯微及光刻，并已廣泛在其他應用中得以使用。眾所周知，在高數值孔徑物鏡的使用中，電磁場矢量特性的影響是不可忽略的。一個眾所周知的例子就是由高NA(數值孔徑)物鏡聚焦線性偏振圓光束時，焦斑的不對稱性:焦斑不再是圓的，而是拉長的。我們通過具體的物鏡實例來說明了這些效應，并演示了如何在VirtualLab Fusion中使用不同的探測器分析焦斑。 vd>K=! J  
+-_71rJc.  
!O=
?n<Ex"  
u{Jv6K,  
高數值孔徑(NA)物鏡廣泛用于光學光刻、顯微系統等。在對焦斑的模擬中考慮光的矢量性質是非常重要的。 1~BDtHW7`n  
r(sQI# P  
!]c]:ed\C  
1 o<l;:  
當線性偏振高斯光束經高數值孔徑(NA)非球面透鏡聚焦時，由于矢量效應，焦平面上的PSF呈現非對稱性。 CNwYQe-i  
x1:#rb'  
有關更多信息，請發(fā)送郵件至: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com q-c9YOz_  
網址: http://www.infotek.com.cn / http://www.honglun-seminary.com }$DLa#\-  
J6x#c`Y  
Z4YQ5O5