在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入10nm節(jié)點之后，制造越來越困難，其中最復(fù)雜的一步——光刻需要用到EUV光刻機(jī)了，而后者目前只有荷蘭ASML阿斯麥公司才能供應(yīng)。中芯國際去年也訂購了一臺EUV光刻機(jī)，日前該公司表示與ASML之間已解決光刻機(jī)的問題，EUV技術(shù)研發(fā)步入正軌。 ,_YI:xie|c  
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前不久有消息稱ASML停止對中芯國際供應(yīng)EUV光刻機(jī)，隨后ASML公司表示不是停供，而是延期，主要是在準(zhǔn)備該國政府的出口申請文本工作。 I^f|U