摘要：橢圓偏振光譜測量技術(shù)通過測量線偏振光經(jīng)材料表面反射后光的相對振幅與相位改變量計(jì)算得到橢偏參數(shù)，再通過橢偏參數(shù)的擬合獲取樣品光學(xué)性質(zhì)。由于其具有非接觸、高靈敏度、非破壞性等優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、材料科學(xué)和微電子等方面，是一種不可或缺的光學(xué)測量手段。本文首先簡要回顧了該技術(shù)的發(fā)展歷程，接著闡述了傳統(tǒng)橢偏儀的基本原理，按照測量原理的不同可將橢偏儀分為消光式和光度式。隨后，本文簡單介紹了一些常用橢偏儀的基本架構(gòu)、測量原理和相關(guān)應(yīng)用，并比較了他們的優(yōu)缺點(diǎn)，重點(diǎn)展示了復(fù)旦大學(xué)研制的雙重傅立葉變換紅外橢偏光譜系統(tǒng)。然后按照橢偏參數(shù)處理的基本步驟：測量、建模與擬合3個(gè)方面，闡述了其過程，詳細(xì)剖析了參數(shù)擬合所使用的各種光學(xué)色散模型，同時(shí)通過應(yīng)用實(shí)例介紹了各色散模型的應(yīng)用情況。最后，對未來橢偏技術(shù)的發(fā)展方向進(jìn)行了展望。 ) $x_!=@1
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關(guān)鍵詞 ： 橢偏技術(shù), 橢偏儀, 橢偏參數(shù)擬合, 光學(xué)色散模型, 材料光學(xué)特性
