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半導(dǎo)體術(shù)語(yǔ)解釋 （六） Pilot Wafer為試作芯片，并非生產(chǎn)芯片 (Prime Wafer)。在操作機(jī)器前，為了確定機(jī)器是否正常所作的試片，或機(jī)器作完維修、保養(yǎng)后所作的測(cè)試用芯片均稱為Pilot Wafer, 由于Pilot Wafer 所作出來的結(jié)果將決定該批的制程條件，故處理Pilot Wafer時(shí)， 所抱持的態(tài)度必須和處理Prime Wafer一樣慎重。 |
半導(dǎo)體術(shù)語(yǔ)解釋 （六）Pilot Wafer為試作芯片，并非生產(chǎn)芯片 (Prime Wafer)。在操作機(jī)器前，為了確定機(jī)器是否正常所作的試片，或機(jī)器作完維修、保養(yǎng)后所作的測(cè)試用芯片均稱為Pilot Wafer, 由于Pilot Wafer 所作出來的結(jié)果將決定該批的制程條件，故處理Pilot Wafer時(shí)， 所抱持的態(tài)度必須和處理Prime Wafer一樣慎重。 |