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    [分享]微納加工技術在光電子領域的應用 [復制鏈接]

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    離線ka2012
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-02-03
    摘要：納米光電子器件正在成為下一代光電子器件的核心。文章介紹了電子束光刻和電感耦合等離子體刻蝕為代表的微納加工技術在光電子學器件中的應用，主要包括量子點激光器、 量子點THz探測器和光子晶體器件。 !ny; YV  
    ElqHZ$a?  
    關鍵詞：納米光電子器件；電子束光刻；電感耦合等離子體刻蝕；量子點器件；光子晶體
    附件: 微納加工技術在光電子領域的應用.rar (211 K) 下載次數(shù):12 ，售價:2光幣[記錄]
    共1條評分 ，光幣+5
    cyqdesign 光幣 +5 - 2020-02-03
     
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    離線fy0511
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-02-04
    非常好的資源！感謝樓主
    離線hkssy
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-03-18
    謝謝樓主分享
    離線cmy0522
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-05-16
    學習了
    離線剎那青春
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-06-21
    感謝樓主分享
    離線l小飛
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2022-04-25
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