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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-02-03

關(guān)鍵詞：微納加工光電子光子晶體量子點

摘要：納米光電子器件正在成為下一代光電子器件的核心。文章介紹了電子束光刻和電感耦合等離子體刻蝕為代表的微納加工技術(shù)在光電子學(xué)器件中的應(yīng)用，主要包括量子點激光器、量子點THz探測器和光子晶體器件。

關(guān)鍵詞：納米光電子器件；電子束光刻；電感耦合等離子體刻蝕；量子點器件；光子晶體

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