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聚焦離子束顯微鏡雙束配置優(yōu)勢介紹

發(fā)布:探針臺 2020-02-06 12:20 閱讀:3783
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使用 Sidewinder HT離子鏡筒快速、簡便地制備高質(zhì)量、定位TEM 和原子探針樣品 V]b1cDx{  
Thermo Scientific NICol™ 電子鏡筒可進行超高分辨率成像, 滿足最廣泛類型樣品(包括磁性和不導(dǎo)電材料)的最佳成像需求 XL[/)lX{  
各類集成化鏡筒內(nèi)及極靴下探測器,采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無荷電圖像,提供最完整的樣品信息 <viIpz2jh%  
可選AS&V4軟件,精確定位感興趣區(qū)域,獲取優(yōu)質(zhì)、多模態(tài) 內(nèi)部和三維信息 m87,N~DP  
高度靈活的110 mm樣品臺和內(nèi)置的Thermo Scientific Nav-Cam™相機實現(xiàn)精確樣品導(dǎo)航 Y.I-h l1<r  
專用的DCFI、漂移抑制技術(shù)和Thermo Scientific SmartScan™等模式實現(xiàn)無偽影成像和圖形加工 iku8T*&uc  
靈活的 DualBeam 配置,優(yōu)化解決方案滿足特定應(yīng)用需求 6#~"~WfPQ  
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通用型高性能雙束系統(tǒng) 4d&#NP  
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Scios 2 DualBeam 提供最佳的樣品制備、內(nèi)部及三維表征性能,可滿足最廣泛類型樣品的應(yīng)用需求。 [8*Ovd  
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Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系統(tǒng)是一款超高分辨率分析系統(tǒng),可為最廣泛類型的樣品(包括磁性和不導(dǎo)電材料)提供出色的樣品制備和三維表征性能。 Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)創(chuàng)新性的功能設(shè)計,優(yōu)化了其樣品處理能力、分析精度和易用性,  是滿足科學(xué)家和工程師在學(xué)術(shù)、政府和工業(yè)研究環(huán)境中進行高級研究和分析的理想解決方案。該系統(tǒng)于2013年推出市場,MTBF>1500hr,深受廣大半導(dǎo)體用戶愛戴。 \PS{/XK  
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高質(zhì)量 TEM 制樣 ""Ul6hRgv  
科學(xué)家和工程師不斷面臨新的挑戰(zhàn),需要對具有更小特征的日益復(fù)雜的樣品進行高度局部化表征。Scios2 DualBeam 系統(tǒng)的最新技術(shù)創(chuàng)新,結(jié)合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific dz/' m7  
AutoTEM™4軟件(可選)和專業(yè)的應(yīng)用知識,可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。為了獲得高質(zhì)量的結(jié)果, 需要使用低能離子進行精拋,以最大限度地減少樣品的表面損傷。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦離子束(FIB)鏡筒不僅可以在高電壓下提供高分辨率成像和刻蝕,而且具有良好的低電壓性能,可以制備高質(zhì)量的TEM薄片。 gfQ&U@N  
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高質(zhì)量內(nèi)部和三維信息 Hw"ik6  
內(nèi)部或三維表征有助于更好地理解樣品的結(jié)構(gòu)和性質(zhì), Scios 2 Z09FW>"u  
DualBeam 系統(tǒng)配備 Thermo Scientific Auto Slice&View™4 ?wE@9 g A  
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 。ˋS&V4)軟件,可以高質(zhì)量、全自動地采集多種三維信息,其中,三維 BSE 圖像提供最佳材料襯度,三維EDS 提供成分信息, 而三維 EBSD 提供顯微結(jié)構(gòu)和晶體學(xué)信息。結(jié)合Thermo Scientific Avizo™軟件,Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)可為納米尺度的高分辨、先進三維表征和分析提供獨特的工作流程解決方案。 216+ tX5Z  
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超高分辨成像并獲取最全面的樣品信息 j]7|5mC78  
創(chuàng)新的NICol電子鏡筒為Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)的高分辨率成像和檢測功能奠定了基礎(chǔ)。無論是在STEM模式下以30keV來獲取結(jié)構(gòu)信息,還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息,  系統(tǒng)可在最廣泛的工作條件下提供出色的納米級細節(jié)。系統(tǒng)獨特的鏡頭內(nèi)Thermo Scientific Trinity™檢測技術(shù)可同時采集角度和能量選擇性SE和BSE圖像。無論是將樣品豎直或傾斜放置進行觀察,亦或者是觀察樣品截面,都可快速獲取最詳細的納米級信息?蛇x配的透鏡下探測器和電子束減速模式可確?焖佟⑤p松  地同時采集所有信號,以顯示材料表面或截面中的最小特征。依托獨特的NICol鏡筒設(shè)計和全自動合軸功能,用戶可獲得快速、準(zhǔn)確且可重復(fù)的結(jié)果。 ,4y' (DA  
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幫助所有用戶提高生產(chǎn)力 :LRR\v0HM  
Scios 2 DualBeam系統(tǒng)可幫助所有經(jīng)驗水平用戶更快、更輕松 d_9Fc" C~  
地獲得高質(zhì)量、可重復(fù)的結(jié)果。系統(tǒng)提供用戶向?qū)В剐率钟脩艨梢暂p松、快速地提高工作效率。此外,諸如“撤消”和“重做”之類的功能鼓勵用戶開展更多類型的實驗。 ';` fMcN  
真實環(huán)境條件的樣品原位實驗 A^7!:^%K  
Scios 2 DualBeam系統(tǒng)專為材料科學(xué)中最具挑戰(zhàn)性的材料微觀 & pwSd  
表征需求而設(shè)計,配備了全集成化、極快速MEMS 熱臺μHeater, G yZYP\'S+  
可在更接近真實環(huán)境的工作條件下進行樣品表征。110毫米樣品  臺可傾斜至90˚,優(yōu)中心工作距離更大,確保了系統(tǒng)極佳的靈活性。系統(tǒng)可選配低真空模式,可輕松兼容各種樣品類型和數(shù)據(jù)采集。同時,系統(tǒng)結(jié)合了擴展的沉積和蝕刻功能、優(yōu)化的樣品靈活 性和控制能力,成為最通用的高性能FIB / SEM 系統(tǒng),所有這些都由賽默飛的專業(yè)應(yīng)用和服務(wù)支持。 8+vZ9!7  
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電子光學(xué) "sLdkd}dj  
NICol 非浸沒式超高分辨率場發(fā)射掃描鏡筒,配有: T!$7:% D  
· 高穩(wěn)定性肖特基場發(fā)射電子槍,用于提供穩(wěn)定的高分辨率 分析電流 =jD[A>3I  
· 60 度雙物鏡透鏡,支持傾斜較大的樣品 1@IRx{v$  
· 自動加熱式光闌,可確保清潔和無接觸式更換光闌孔 OJE<2:K  
· 連續(xù)電子束電流控制和優(yōu)化的光闌角度 9@AGx<S1  
· 電子槍安裝和維護簡單 自動烘烤,自動啟動,無需機械合軸 3nuf3)  
· 兩級掃描偏轉(zhuǎn) ) Kfk\  
· 雙物鏡透鏡,結(jié)合電磁透鏡和靜電透鏡 ~ `2w ul  
· 快速電子束閘* Rf@D]+v  
· 用戶向?qū)Ш顽R筒預(yù)設(shè) 8D]:>[|E  
· 電子源壽命至少24個月 *nNzhcuR  
電子束分辨率 Mq)