摘要：本文通過對(duì)電子散斑小振幅振動(dòng)測(cè)量的線性分析, 實(shí)施一系列特殊算法、 散斑平均技 術(shù)及特殊圖象處理等工作, 使得納米振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量精度得到較大提高。該系統(tǒng)將具有 全場(chǎng)、 非接觸、 測(cè)量速度快、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn), 目前它也是納米全場(chǎng)振動(dòng)測(cè)量的唯一方法�！�