摘要：自由曲面光學(xué)元件與球面和非球面光學(xué)元件相比能夠提供更高的光學(xué)設(shè)計(jì)自由度，應(yīng)用于成像光學(xué)系統(tǒng)有利于簡化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和改善系統(tǒng)質(zhì)量，在新一代空間光學(xué)遙感領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。為了滿足離軸反射式自由曲面空間光學(xué)遙感系統(tǒng)的快速、高精度研制需求，本文瞄準(zhǔn)微晶材質(zhì)、復(fù)雜連續(xù)曲面類自由曲面反射鏡超聲銑磨加工表面粗糙度和亞表面質(zhì)量的提升目標(biāo)，開展了主軸轉(zhuǎn)速、切削深度、進(jìn)給量等主要工藝參數(shù)的優(yōu)化實(shí)驗(yàn)和研究，完成了300 mm口徑自由曲面反射鏡的建模分析和超聲銑磨加工，最終銑磨加工表面的面形精度達(dá)8.89 μm PV，亞表面損傷層深度低于18 μm，實(shí)現(xiàn)了自由曲面光學(xué)反射鏡的高精度、低損傷銑磨加工，能夠有效降低后續(xù)研拋加工的材料去除總量，縮短整個(gè)加工周期。 E*s _Y
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關(guān)鍵詞 ： 光學(xué)加工；自由曲面；超聲銑磨；工藝參數(shù)優(yōu)化；表面粗糙度；微晶
