近日，美國泛林公司宣布與 ASML 阿斯麥、 IMEC 比利時微電子中心合作開發(fā)了新的EUV 光刻技術，不僅提高了 EUV 光刻的良率、分辨率及產(chǎn)能，還將光刻膠的用量最多降至原來的 1/10 ，大幅降低了成本。 [LE_lATjU  
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泛林 Lam Research 的名字很多人不清楚， 前不久中芯國際宣布的 6 億美元半導體設備訂單就是購買的泛林的產(chǎn)品 。 Dcq^C LPY  
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泛林是一家美國公司，也是全球半導體裝備行業(yè)的巨頭之一，與應用材料、 KLA 科磊齊名， 2019 年營收 95 億美元，在全球半導體裝備行業(yè)位列第四，僅次于 ASML 、 TEL 日本東京電子及 KLA 。 h1xYQF_`Z  
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泛林生產(chǎn)的設備主要是蝕刻機、 CVD （化學氣相沉積）、清洗、鍍銅等設備，其中來自中國市場的客戶是第一大來源。 bTJ7RqL  
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這次取得重大突破的不是半導體裝備，而是 一項用于 EUV 光刻圖形化的干膜光刻膠技術 ，而光刻膠是半導體生產(chǎn)中最重要的原料之一，尤其是 EUV 光刻膠，門檻極高，全球僅有幾家公司能產(chǎn)。 ^c*'O0y[D  
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