角分辨散射光測量服務(wù)承接
光的散射特性對高端光學(xué)表面、薄膜和材料的發(fā)展起著至關(guān)重要的作用。對于光學(xué)表面,常常用粗糙度來確定光學(xué)表面受散射影響后的光學(xué)特性。對于諸如不均勻體、亞表面損傷和局部缺陷的散射常常會忽略掉,而這些散射對系統(tǒng)有很大的影響,如造成散射損耗、像質(zhì)變差等。 角分辨散射測量法及其應(yīng)用 利用光散射測量光學(xué)粗糙表面是目前發(fā)展較為快速和成功的技術(shù),人們對這種技術(shù)做了大量的研究工作,使得光散射系統(tǒng)已經(jīng)成為測量光學(xué)元件表面質(zhì)量的主要手段之一。概括起來,光學(xué)表面的散射測量方法主要包括角分辨散射測量法和總積分散射測量法,二者分別以矢量散射理論和標(biāo)量散射理論為理論基礎(chǔ)。角分辨散射(AngleResolvedScattering,簡稱ARS)測量法是利用散射光的光強(qiáng)及其分布來測量表面粗糙度參數(shù)?偡e分散射(TotalIntegratedScattering,簡稱TIS)測量法中,入射光以很小的入射角照射到隨機(jī)粗糙表面上,用積分球收集粗糙表面散射的漫反射光或者包含鏡向反射在內(nèi)的總體反射光。TIS法一般儀器結(jié)構(gòu)簡單、成本低、測量速度快、不易受環(huán)境影響,但最主要缺點(diǎn)是無法獲得光學(xué)表面形貌的全部特征及散射光的空間分布。ARS法雖然儀器結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本較高,但能夠精確測量光散射的空間分布,并通過其全空間積分,得到表面的總積分散射值,從而能夠獲取更完整更詳細(xì)的散射特性。ARS測試如下圖: |