SiC在半導(dǎo)體上的應(yīng)用
隨著電子設(shè)備和邏輯板的市場進一步增長,傳統(tǒng)硅的缺點日益凸顯,為此設(shè)計師和制造商一直在尋找更好,更智能的方法來制造這些重要組件。碳化硅就是這樣一個存在,由于碳化硅材料具有較大的禁帶寬度以及優(yōu)異的導(dǎo)熱性能,相比傳統(tǒng)硅技術(shù),碳化硅技術(shù)可以兼得高頻和高壓這兩個重要特性。而且相同規(guī)格的碳化硅芯片只有硅芯片十分之一大小,不僅如此,基于碳化硅技術(shù)的系統(tǒng)應(yīng)用中,更少的散熱需求和更小的被動元器件導(dǎo)致整個裝置的體積也大大減小。 因此碳化硅功率半導(dǎo)體在普通硅半導(dǎo)體中脫穎而出,在電子電力、光電子以及微波通訊等領(lǐng)域均有著廣闊的應(yīng)用前景。 電力行業(yè)是SiC功率半導(dǎo)體的重要市場之一,特別是由于其在大功率應(yīng)用場合中仍然有較低的功耗。以SiC為代表的第三代半導(dǎo)體具有禁帶寬、熱導(dǎo)率高,擊穿場強高,飽和電子漂移速率高,化學(xué)性能穩(wěn)定,硬度高,抗磨損,高鍵和高能量以及抗輻射等優(yōu)點,可廣泛用于制造高溫,高頻,高功率,抗輻射,大功率和高密集集成電子器件。 用SiC制造的組件包括二極管,各種晶體管類型(例如MOSFET,JFET和IGBT)和柵極截止晶閘管,通過使用這樣的基本構(gòu)建塊,可以創(chuàng)建更小,更輕,效率極高的電源模塊,用于將電源切換到負載或從負載切換電源以及進行轉(zhuǎn)換。用SiC襯底開發(fā)的電力電子器件可用在輸變電、風(fēng)力發(fā)電、太陽能、混合動力汽車等電力電子領(lǐng)域,降低電力損失,減少發(fā)熱量,高溫工作,提高效率,增加可靠性。 早期用例,特斯拉已經(jīng)將意法半導(dǎo)體的基于SiC MOSFET的功率模塊集成到Model 3逆變器中。Model 3具有一個主逆變器,該逆變器需要24個電源模塊,每個電源模塊均基于兩個碳化硅MOSFET管芯,每輛汽車總共有48個SiC MOSFET管芯。這些MOSFET由位于意大利卡塔尼亞的意法半導(dǎo)體晶圓廠制造。 早在2014年5月,豐田汽車宣布通過使用SiC功率半導(dǎo)體,將混合動力汽車的燃油效率提高10%(在日本國土交通省的JC08測試周期下),并減少了汽車的使用。與僅含Si功率半導(dǎo)體的當(dāng)前PCU相比,功率控制單元(PCU)的尺寸縮小了80%。但由于SiC晶圓(基板)不足,豐田還未采用。 在光電子領(lǐng)域,SiC材料具有與GaN晶格失配小、熱導(dǎo)率高、器件尺寸小、抗靜電能力強、可靠性高等優(yōu)點,是GaN系外延材料的理想襯底,由于其良好的熱導(dǎo)率,解決了功率型GaN-LED器件的散熱問題,特別適合制備大功率的半導(dǎo)體照明用LED,這樣大大提高了出光效率,又能有效的降低能耗。 在微波通訊領(lǐng)域,SiC作為一種寬帶隙的半導(dǎo)體材料,同時還具有較寬的工作頻帶,(0~400GHz),加之其優(yōu)異的高溫特性,高擊穿電場,高熱導(dǎo)率和電子飽和速率等特性,在微波通訊領(lǐng)域也占有一席之地。實現(xiàn)了通訊器件的高效能,高機動,高波段和小型化的,特別是在X波段以上的T/R組件,5G通訊基站中的應(yīng)用備受關(guān)注。 業(yè)內(nèi)人士指出,電動汽車行業(yè)是SiC應(yīng)用前景最廣闊的行業(yè),SiC技術(shù)帶來的電池使用效率顯著提升以及電驅(qū)動裝置重量和體積的縮小正是電動汽車技術(shù)最需要的。而就目前來看,工業(yè)電源行業(yè)是SiC普及和應(yīng)用率較高的行業(yè),使用碳化硅產(chǎn)品可以顯著提升工業(yè)領(lǐng)域的電能利用效率。 那么碳化硅半導(dǎo)體有不利之處嗎?就目前而言,成本是將SiC技術(shù)引入更廣泛的電氣和電力產(chǎn)品中的少數(shù)明顯缺點之一。SiC半導(dǎo)體的價格可能是普通硅IGBT的五倍。但回顧過去十年,可以清晰的看到碳化硅市場一直在快速增長,這也得益于碳化硅材料端技術(shù)的發(fā)展,材料成本的不斷降低。因此各大公司都在大力擁抱SiC半導(dǎo)體,國內(nèi)企業(yè)和投資者也在大力推動SiC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 國內(nèi)SiC產(chǎn)業(yè)動作頻頻 在全國“大基金”的帶動下,在過去的一年中,全國半導(dǎo)體總投資達到700多億元,其中SiC材料相關(guān)項目涉及65億。三安光電、中科鋼研、天通股份、比亞迪等企業(yè)已經(jīng)開始在SiC襯底片項目進行布局。據(jù)業(yè)內(nèi)從業(yè)人士透露,近幾年,國內(nèi)的碳化硅市場增速非?,在節(jié)能減排政策的大背景下,越來越多的國內(nèi)客戶開始使用碳化硅器件來替代傳統(tǒng)硅器件方案,國內(nèi)電源領(lǐng)域的標(biāo)桿企業(yè)也都在大規(guī)模使用碳化硅器件。 為此,國內(nèi)SiC產(chǎn)業(yè)陣容不斷擴大。相比于硅技術(shù),國內(nèi)碳化硅技術(shù)的發(fā)展更令人欣慰,畢竟國內(nèi)外碳化硅技術(shù)的起跑線是相對接近的。可以看到無論是前端的襯底和外延,還是后端的器件和模組,國內(nèi)都涌現(xiàn)了一批優(yōu)秀的甚至在全球市場都有一席之地的企業(yè),整個產(chǎn)業(yè)鏈已經(jīng)接近實現(xiàn)全國產(chǎn)替代。 在襯底領(lǐng)域,我國有山東天岳、天科合達、河北同光、世紀(jì)金光、中電集團2所等;外延片領(lǐng)域有東莞天域、瀚天天成、世紀(jì)金光;在SiC功率器件研發(fā)制造方面,國內(nèi)IDM企業(yè)有楊杰電子、基本半導(dǎo)體、蘇州能訊高能半導(dǎo)體、株洲中車時代、中電科55所、中電科13所、泰科天潤、世紀(jì)金光,F(xiàn)abless有上海瞻芯、瑞能半導(dǎo)體,F(xiàn)oundry有三安光電;在模組方面,有嘉興斯達、河南森源、常州武進科華、中車時代電氣。 進入2020年來,企業(yè)和投資者關(guān)于SiC的動作不斷。3月12日,合肥市人民政府發(fā)布指出,世紀(jì)金光6英寸碳化硅項目落戶合肥,大基金持股10.55%。合肥產(chǎn)投資本管理的語音基金作為領(lǐng)投方參與了世紀(jì)金光C輪融資。世紀(jì)金光成立于2010年,致力于第三代寬禁帶半導(dǎo)體功能材料和功率器件研發(fā)與生產(chǎn)。近幾年來,世紀(jì)金光創(chuàng)新性地解決了高純碳化硅粉料提純技術(shù)、6英寸碳化硅單晶制備技術(shù)、碳化硅SBD、MOSFET材料、結(jié)構(gòu)及工藝設(shè)計技術(shù)等,已完成從碳化硅材料生產(chǎn)、功率元器件和模塊制備到行業(yè)應(yīng)用開發(fā)與解決方案提供等關(guān)鍵領(lǐng)域的全面布局,是國內(nèi)第一家擁有SiC全產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)的半導(dǎo)體公司。 今年2月份,全國最大生產(chǎn)規(guī)模的碳化硅產(chǎn)業(yè)基地在山西正式投產(chǎn)。中國電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地一期項目共有300臺設(shè)備。山西爍科晶體有限公司總經(jīng)理李斌介紹:“該碳化硅產(chǎn)業(yè)基地一期的300臺設(shè)備,一個月能生產(chǎn)1200塊碳化硅單晶,單塊的估值在10萬元左右,1200塊就是一個多億!边@個1000畝的產(chǎn)業(yè)園將串聯(lián)起山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)上下游十多個產(chǎn)業(yè),帶動山西半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群迅速發(fā)展,實現(xiàn)中國碳化硅的完全自主供應(yīng)。 還有也是在2月,比亞迪公布旗下中大型轎車漢EV首次應(yīng)用自研“高性能碳化硅MOSFET電機控制模塊”,助其0-100km/h加速僅需3.9秒!這個成績刷新了之前由全新唐DM創(chuàng)造的4.3秒紀(jì)錄,讓漢EV成為比亞迪量產(chǎn)車家族的新加速冠軍。其電機控制器首次使用了比亞迪自主研發(fā)并制造的高性能碳化硅MOSFET控制模塊,碳化硅模塊能夠降低內(nèi)阻,增加電控系統(tǒng)的過流能力,讓電機將功率與扭矩發(fā)揮到極致,大幅提升了電機的性能表現(xiàn)。 再往前時間段,2019年11月26日,露笑科技與中科鋼研、國宏中宇在北京簽署了《中科鋼研節(jié)能科技有限公司與國宏中宇科技發(fā)展有限公司與露笑科技股份有限公司碳化硅項目戰(zhàn)略合作協(xié)議》。這次三方進行共同合作,重點依托中科鋼研及國宏中宇在碳化硅晶體材料生長工藝技術(shù)方面已經(jīng)取得的與持續(xù)產(chǎn)出的研發(fā)成果,結(jié)合露笑科技的真空晶體生長設(shè)備設(shè)計技術(shù)及豐富的裝備制造技術(shù)與經(jīng)驗,共同研發(fā)適用于中科鋼研工藝技術(shù)要求的4英寸、6英寸、8英寸乃至更大尺寸級別的碳化硅長晶設(shè)備,目前首批2臺套升華法碳化硅長晶爐已經(jīng)完成設(shè)備性能驗收交付使用,經(jīng)過優(yōu)化后的碳化硅長晶爐設(shè)備將應(yīng)用于國宏中宇主導(dǎo)的碳化硅產(chǎn)業(yè)化項目中。 2019年8月,華為旗下的哈勃科技投資有限公司投資了國內(nèi)領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體材料公司山東天岳,持股達10%。山東天岳公司成立于 2011 年 12 月,公司自主開發(fā)了全新的高純半絕緣襯底材料,目前量產(chǎn)產(chǎn)品以 4 英寸為主,此外其 4H 導(dǎo)電型碳化硅襯底材料產(chǎn)品主要有 2 英寸、3 英寸、4 英寸及 6 英寸。山東天岳還獨立自主開發(fā)了 6 英寸 N 型碳化硅襯底材料。公司已經(jīng)實現(xiàn)寬禁帶半導(dǎo)體碳化硅材料產(chǎn)業(yè)化,技術(shù)水平達到國際領(lǐng)先。 |