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摘要 ]E)D})r`# RY3=UeoF 斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。 =:t<!dp O0s,)8+z5D
b|*+!v:I>T Z;[xaP\S 建模任務(wù) RN}joKV 8Zy*#[- #*%?]B= `sA xk 傾斜平面下的觀測(cè)條紋 Hy -)yR "Pu917_P
]+b?J0|P< DMTc{ 圓柱面下的觀測(cè)條紋 *>HS>#S XB@i{/6K 8C[eHC*r wn|;Li 球面下的觀測(cè)條紋 (zxL!ZR< :S}ZF$
$j% 72/ bC 4"\x# VirtualLab Fusion 視窗 K7C!ZXw~ {NcJL< ;tS Aar]eY\ VirtualLab Fusion 流程 TU;AO%5 4.Fh4Y:$' 7HQL^Q 設(shè)置入射場(chǎng) <f
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