參考Donald Dilworth《Lens Design Automatic and quasi-autonomous computational methods and techniques》書第十七章
RDR .001 !定義更小的起始增量為正常值的千分之一,因?yàn)楣馐浅P。?/div>
VY 2 RAD !改變表面2的半徑
VLIST TH 3 ! 改變表面3的厚度
VY 3 G 26 ! 改變表面3的Y**2項(xiàng)系數(shù)G26
VY 3 G 27 ! 改變表面3的Y**4項(xiàng)系數(shù)G27
VY 3 G 28 !改變表面3的Y**6項(xiàng)系數(shù)G28
VY 3 G 29 !改變表面3的Y**8項(xiàng)系數(shù)G29
VY 4 G 26 ! 改變表面4的Y**2項(xiàng)系數(shù)G26
VY 4 G 27 !改變表面4的Y**4項(xiàng)系數(shù)G27
VY 4 G 28 !改變表面4的Y**6項(xiàng)系數(shù)G28
VY 4 G 29 ! 改變表面4的Y**8項(xiàng)系數(shù)G29
END ! 結(jié)束
]wa?~;1^&
AANT ! 定義像差參數(shù)
AEC 1 1 1 !自動控制邊緣厚度,防止邊緣太薄,目標(biāo)值為1,權(quán)重為1,窗口為1
ACC 4 1 1 !自動控制元件中心厚度,防止中心厚度太厚,目標(biāo)值為4,權(quán)重為1,窗口為1
LUL 150 1 1 A TOTL ! 系統(tǒng)總長不超過150
M 5 1 A P YA 0 0 1 0 5 ! 0視場表面5的邊緣光線高度目標(biāo)值為5,權(quán)重為1;
M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 6 !0視場表面6上在Y方向高度為1時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.98時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.97時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.96時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.95時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.94時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.93時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.92時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.91時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .85 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.85時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.8時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.7時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.5時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.3時所對應(yīng)的光通量衰減為0
GSO 0 .1 10 P ! 控制弧矢面上10條光線產(chǎn)生的OPD像差
GSR 0 100 10 P !控制弧矢面光線網(wǎng)格中所產(chǎn)生的橫向光線像差
END ! 結(jié)束
SNAP !設(shè)置PAD圖更新頻率,每一次優(yōu)化更新一次
SYNO 40 !程序優(yōu)化次數(shù)為40次
然后點(diǎn)擊圖標(biāo)
進(jìn)行
模擬退火,具體參數(shù)設(shè)置為(22,1,50):
b4ORDU 得到優(yōu)化和模擬退火后的DOE光束整形器,如圖2所示:
B`RbXk68q 圖2 優(yōu)化和模擬退火后的DOE光束整形器
CW窗口輸入SYNOPSYS AI>FLUX 100 P 6,然后點(diǎn)擊“Enter”鍵。得到光通量分布圖,光通量幾乎均勻。
b0LQ$XM>8 FLUX 100 P 6 的含義:
數(shù)字100-追跡的光線數(shù)目
字母P-主波長
數(shù)字6-表面6
4w]u: eU 現(xiàn)在問題是:表面4的空間頻率是多少?
如果它太高,在制作技術(shù)上可能存在難度。
現(xiàn)在分析表面4的空間頻率。在CW中輸入MMA,打開MMA對話框進(jìn)行如下圖,并得到空間頻率圖:
UTin0k 需要降低表面4的空間頻率,在PANT中添加VY 5 RAD;同時在AANT中添加M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4;
然后點(diǎn)擊Run按鈕運(yùn)行,得到鏡頭結(jié)構(gòu)如下圖所示:
S:rW}r