SYNOPSYS可以將一組測(cè)量的表面sag值擬合到
非球面上。這可以用來
模擬被測(cè)表面,以便分析所建立的
透鏡的性能。假定面型是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的,
程序將面型USS 21分配給表面。(也可以使用SFIT為非對(duì)稱形狀建模。)
rcq(p(! 輸入是:
kxhvy,t !V Zl<| %D\TLY 透鏡必須是當(dāng)前的,并且要建模的表面指定為sn。要擬合的區(qū)域數(shù)必須介于3到50之間。
nBaY| 輸入是包括
孔徑(y)和每個(gè)點(diǎn)的測(cè)量凹陷(sag)的列表。必須對(duì)測(cè)量值進(jìn)行歸一化,使軸點(diǎn)具有零凹陷,但鍵入的輸入數(shù)據(jù)以第一個(gè)非零Y坐標(biāo)開始。
iF{eGi 當(dāng)讀取所有數(shù)據(jù)時(shí),程序提交一個(gè)
優(yōu)化運(yùn)行,該過程將每個(gè)指定區(qū)域的sag目標(biāo)定為測(cè)量值,隨著要建模的點(diǎn)的變化,許多G項(xiàng)變量也發(fā)生變化,最多30個(gè)區(qū)域可用于此形狀。
J@H9nw+Q /t%IU 9O?.0L 例子:
Yj/S(4(h? 測(cè)量了表面3的非球面形狀,并給出了其測(cè)量結(jié)果。然后按照如下輸入:
d'kQE_y2. @?3u|m |Z G#Nh)ff 程序找到了下列系數(shù),評(píng)價(jià)
函數(shù)下降到1.616E-12.這是一個(gè)非常好的擬合。
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