摘要:復合薄膜因其可具有比單組份薄膜更加優(yōu)異的性能而得到廣泛的應用。通過以膜層的 防護、催化、電學、光學以及力學性能等復合思想為切入點,闡述了通過膜層的復合摻雜旨在增強 合金的抗腐蝕性,提高潤滑摩擦性能,改善膜層的導電性能以及進行光學薄膜折射率和光譜吸收 的調(diào)控,增強膜層的硬度及拉伸強度等機械性能的方法。對國內(nèi)外的相關前沿成果進行簡要介 紹,并對復合薄膜的未來發(fā)展進行展望,為相關領域的研究提供參考。 ~wO-Hgd
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關鍵詞:復合薄膜;防護性能;電學性能;催化性能;光學性能;機械性能