SYNOPSYS中光柵表面輸入格式： abo=v<mR  
SN GRATING {X/Y} L/MM ORDER CWAV HIN VNUM r:*G{m-  
其中，X-衍射發(fā)生在X-Z平面；Y-衍射發(fā)生在Y－Z平面。Ｌ／ＭＭ－給出了光柵刻線數(shù)；ORDER-衍射級(jí)次；CWAV-波長；HIN-基底折射率； aOD
h5  
VNUM-相應(yīng)的阿貝數(shù)； ;aQ``B  
l=DF)#>w  
例子: cBxGGggB  
RLE I&-r^6Yx  
ID GRATING_REAL FLAT "U\RN  
WAVL .6000000 .5000000 .4000000 !"^Zr]Qt+\  
APS               1 Y'U1=w~E  
POLARIZATION LINEAR Y (&}[2pb!  
UNITS MM 1wFu3
fh@  
OBB  0.000000   10.00000    1.00000    0.00000    0.00000    0.00000    1.00000 l5 9a3=q  
  0 AIR yE}\4_0I/  
  1 GRA  Y       500.0000   -1       0.500000      1.500000     50.000000 a?[[F{X9^  
  2 COATING PERF \<{a=@_k9  
  2 CV      0.0000000000000   TH  1.00000000E-06 gk6f_0?X'  
  2 N1 1.51628919 N2 1.52140818 N3 1.53084089 ~I||"$R  
  2 CTE   0.710000E-05 &'uP?r9c$  
  2 GTB S    'BK7             ' *Fy6-
CC1  
  3 COATING PERF mnm ZO}  
  3 CV      0.0000000000000   TH    100.00000000 AIR VLXA6+  
  3 AIR "&6vFm