摘要 t6GL/
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光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 'D ,efTq  
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圖片:1-20040G35K1523.png

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光柵詳細(xì)說明 u^DfRd&P0  
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圖片:1-20040G35RC63.png

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•為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 3*< O-
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•可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。 M#BM
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光柵階次分析器設(shè)置 k[9~Er+  
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•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 >WfkWUb  
•可以指定各種輸出選項(xiàng)。 {MP8B'r-6  
•可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。
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圖片:1-20040G35ZX24.png

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常規(guī)設(shè)置 X$aN:!1  
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圖片:1-20040G3593ME.png

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•在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 4+rr3 $AY  
•另外，可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 xLxXc!{J5  
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單個(gè)階次設(shè)置 [1+ o  
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圖片:1-20040G40005Y8.png

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•在“單個(gè)階次”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否記錄單個(gè)階次的信息。 =<,>dBs}\  
•如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項(xiàng)非常有用。 <>=A6
 
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單個(gè)階次設(shè)置 ['<Q402:.  
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圖片:1-20040G4005Q04.png

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圖片:1-20040G40153C7.png

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探測(cè)器標(biāo)簽頁中的輸出