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[分享]光刻機(jī)投影物鏡結(jié)構(gòu)型式比較 [復(fù)制鏈接]

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離線我是菜鳥

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-05-02

關(guān)鍵詞：光刻機(jī)投影物鏡

摘要：本文分析了光刻機(jī)中采用的幾種投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式，比較了各自的優(yōu)缺點(diǎn)，指出目前光刻機(jī)中采用全折射投影物鏡作為主流結(jié)構(gòu)型式的原因。