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    [分享]光刻機投影物鏡結構型式比較 [復制鏈接]

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    離線我是菜鳥
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-05-02
    摘要：本文分析了光刻機中采用的幾種投影物鏡的結構型式，比較了各自的優(yōu)缺點，指出目前光刻機中采用全折射投影物鏡作為主流結構型式的原因。 bCdEItcD  
    d;:+Xd`  
    關鍵詞：光刻機；投影物鏡；全折射型；折反射型
    附件: 光刻機投影物鏡結構型式比較.rar (290 K) 下載次數:93 ，售價:2光幣[記錄]
    共2條評分 ，光幣+6
    sxwpdpd 光幣 +1 - 2020-08-03
    cyqdesign 光幣 +5 - 2020-05-02
     
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    離線liaow
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-05-03
    光刻機近年來很火啊，學習哈。
    離線bmw0501
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-05-06
    感謝分享
    離線420200590
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-05-17
    學習學習
    離線420200590
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-05-17
    謝謝分享
    離線江gengen
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2020-05-17
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    離線夜華
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2020-05-19
    感謝。。
    離線龍濤
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-05-19
    謝謝分享
    離線gandongdi226
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2020-05-19
    學習牛人的知識 l:-$ulAx