摘要：微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件在光電產(chǎn)品及光通訊產(chǎn)品中的應(yīng)用日益廣泛。采用多軸超精密機(jī)床加工光學(xué)微結(jié)構(gòu),可達(dá)到亞微米級(jí)形狀精度和納米級(jí)表面光潔度的高精度水平。詳細(xì)介紹了光學(xué)自由曲面及光學(xué)微結(jié)構(gòu)的超精密加工技術(shù)，并開(kāi)發(fā)了適合超精加工微型槽和微透鏡列陣的刀具軌跡自動(dòng)生成軟件。 c)&>$S8*  
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關(guān)鍵詞：超精密加工；微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件；刀具軌跡生成器

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