1. 摘要
%VgK::)r l,E4h-$ 高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術(shù)。因此,聚焦
仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。
VirtualLab可以非常便捷地對(duì)此類
鏡頭進(jìn)行
光線追跡和場(chǎng)追跡分析。通過場(chǎng)追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對(duì)稱現(xiàn)象。利用
相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器能夠?qū)劢箙^(qū)域進(jìn)行靈活全面的研究,進(jìn)而加深對(duì)矢量效應(yīng)的理解。
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8"x\kSMb DOWZhD 2. 建模任務(wù)
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sQa9M ltmD=-]G_ 3. 概述
Z4PAdT %lN4"jtx 示例
系統(tǒng)包含了高
數(shù)值孔徑物鏡 ;