我國(guó)開(kāi)發(fā)新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù) 可加工石墨烯
10日,記者從中科院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所獲悉,來(lái)自該所等單位的研究人員,開(kāi)發(fā)了一種新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù)(FPL)。利用該技術(shù),研究人員在百納米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量微納周期結(jié)構(gòu)的快速制備。相關(guān)成果發(fā)表在《光:科學(xué)與應(yīng)用》上。 石墨烯被發(fā)現(xiàn)以來(lái),二維材料逐漸進(jìn)入人們視野,成為材料領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。自組裝、電子束刻蝕和極紫外光刻等技術(shù)可以在石墨烯上制備微納結(jié)構(gòu),進(jìn)而調(diào)控其帶隙、吸收、載流子遷移率等性能。但這些技術(shù)存在著耗時(shí)長(zhǎng)、成本高、缺乏通用性等問(wèn)題。因此,如何降低成本,高效制備微納結(jié)構(gòu)石墨烯,是目前需要解決的重要問(wèn)題。 |