作為
衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法，薄元近似（TEA）在計算薄衍射元件的衍射效率時非常有效。 但在另一方面，當(dāng)衍射
光柵的周期小到可以與
波長相比較時，這種近似將會變得不準(zhǔn)確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓（正弦和閃耀），并應(yīng)用TEA和嚴格的FMM / RCWA進行分析，用來比較兩種方法的結(jié)果。
*v;!-F&8> @Py/K / 用于光柵建模的TEA與FMM
B\<Q ;RI2; +EFgE1w 
我們同時使用TEA和FMM（也稱為RCWA）來分析兩種周期不同的光柵（正弦光柵和閃耀光柵），并比較了兩種方法的結(jié)果。
<A<{, :5C 0]>u )% 閃耀光柵的傅里葉模態(tài)分析
pA`+hQNN
:l~ I 
在
VirtualLab Fusion中，傅里葉模態(tài)方法（FMM）可用于光柵效率的嚴格分析。
iDN;m` a l/BLUl~z 更多相關(guān)信息，請發(fā)送郵件至：
support@infotek.com.cn GT~)nC9f ji1 viv 網(wǎng)址：
http://www.infotek.com.cn $ .C=H[QC ln$&``L 
TK5K_V*7 il}%7b- 購買與
軟件試用請聯(lián)系QQ：1824712522
