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摘要 a9g~(#?a L-[A1#n 可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 HJjx!7h c)4L3W-x= e>g>)!F 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) H_FT%`iM PpezWo)9 建模任務(wù) {iYrC m[_ <7_s'UAL! dry>TXG* n.OsmCR
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