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芯片測(cè)試失效分析

發(fā)布：探針臺(tái) 2020-05-18 11:48 閱讀：1364
金相顯微鏡/體式顯微鏡：提供樣品的顯微圖像觀測(cè)，拍照和測(cè)量等服務(wù)，顯微倍率從10倍~1000倍不等，并有明場(chǎng)和暗場(chǎng)切換功能，可根據(jù)樣品實(shí)際情況和關(guān)注區(qū)域情況自由調(diào)節(jié) 4z)]@:`}z  
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RIE等離子反應(yīng)刻蝕機(jī)：提供芯片的各向異性刻蝕功能，配備CF4輔助氣體，可以在保護(hù)樣品金屬結(jié)構(gòu)的前提下，快速刻蝕芯片表面封裝的鎢，鎢化鈦，二氧化硅，膠等材料，保護(hù)層結(jié)構(gòu)，以輔助其他設(shè)備后續(xù)實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行 r<\u6jF  
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自動(dòng)研磨機(jī)：提供樣品的減薄，斷面研磨，拋光，定點(diǎn)去層服務(wù)，自動(dòng)研磨設(shè)備相比手動(dòng)研磨而言，效率更高，受力更精準(zhǔn)，使用原廠配套夾具加工樣品無(wú)需進(jìn)行注塑，方便后續(xù)其他實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行 |a@L}m  
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高速切割機(jī)：部分芯片需要進(jìn)行剖面分析，此時(shí)可使用制樣切割工具，先用樹脂將被測(cè)樣品包裹和固定，再使用可換刀頭的高速切割機(jī)切割樣品使用夾具固定待切割樣品，確定切割位置后進(jìn)行切割，同時(shí)向切割刀片噴淋冷卻液。提供PCB或其他類似材料的切割服務(wù)，樣品樹脂注塑服務(wù) 0\$2X- c  
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