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7LY4q/ 1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。 k~ZE4^dM 2.測量樣本。 +\n8##oAI 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測量結(jié)果。 #Y;_W;# 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結(jié)果比較 (樣本:1.-Mo/Si-鏡子,2-Ti-膜,3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面)。 @e_<OU 1zUo.Tg0 系統(tǒng)簡介 qXJBLIG )a%kAUNj 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展,對于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量,快速測量的特點(diǎn)。并且它的體積小便于移動。被測樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 Wp<4F6C$@ &k4)&LQJ 特征及技術(shù)參數(shù) c~a:i=y67
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